Mikrowiderstands-Methode

Mikrowiderstands-Messmethode gemäß der Norm DIN EN 14571.

Funktionsprinzip

Diese Methode eignet sich zur Messung von elektrisch leitenden Schichten auf isolierendem Untergrund, z. B. von Kupferbeschichtungen auf Epoxidharz. Mit 4 Elektroden berührt die Sonde das Messobjekt. Durch die äußeren beiden Elektroden wird ein Strom in die Schicht eingespeist. Die Cu-Schicht zwischen den beiden inneren Elektroden wirkt als elektrischer Widerstand, an dem der Spannungsabfall gemessen wird.

Schematische Darstellung der Mikro-Widerstand-Messmethode.
Schematische Darstellung der Mikro-Widerstand-Messmethode.

Dieser Widerstand ist umgekehrt proportional der Dicke der Cu-Schicht. Das Signal wird im Messgerät über die Sondenkennlinie, den funktionalen Zusammenhang zwischen Sondensignal und Schichtdicke, in den Schichtdickenwert umgewandelt. Die elektrische Leitfähigkeit der Cu-Schicht ist temperaturabhängig, was unter Umständen eine Temperaturkompensation notwendig macht.

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